双级反渗透+EDI
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产品介绍
电子行业超纯水系统
简介
电子行业对水中的离子含量要求非常高,本系统采用的反渗透技术,结合EDI,混床技术,使产水水质最高可达18.25兆欧,水质符合美国ASTM标
准。目前我国电子工业部把电子级水质分为五个行业标准,分别为18Q·cm,
15Mg·cm,10MΩ·cm,2Mg·cm和0.5M·cm,以区分不同水质
技术参数:
产水水质:水质符合美国ASTM标准,电子工业部超纯水水质标准18Mg·cm,
15MΩ·cm,10MQ·cm,2Mg·cm和0.5Mg·cm五级
产水水量:0.5-100T/H
材质:玻璃钢 不锈钢 有机玻璃等
工艺流程
预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象
2、预处理→一级反渗透→加药泵(PH调节)→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
主要特点
该系统动作均在预设程序下自动进行,具备全自动功能。
系统结构布置紧凑,有效节约空间。
系统能耗低,制水成本低廉
系统运行可靠,供水管路封闭,出水水质稳定。
适用范围
生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统.
中国电子行业超纯水标准
(GB/T11446.1-1997)